24小时热门版块排行榜    

查看: 777  |  回复: 1

jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率和等离子体清洗机的功率有什么区别? 已有1人参与

我们实验室里的等离子体清洗机只有一种功率,我看别的实验室里有ICP射频的等离子体刻蚀的,分上功率和下功率,这有什么区别呢?而且两者一个是交流一个是直流吗??分不清。。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

struggleing

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率都是射频电源,也就是交流电。等离子体清洗机是啥?干法去胶机吗
2楼2018-08-21 11:08:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jichenxi0730 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见