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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率和等离子体清洗机的功率有什么区别? 已有1人参与

我们实验室里的等离子体清洗机只有一种功率,我看别的实验室里有ICP射频的等离子体刻蚀的,分上功率和下功率,这有什么区别呢?而且两者一个是交流一个是直流吗??分不清。。

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struggleing

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率都是射频电源,也就是交流电。等离子体清洗机是啥?干法去胶机吗
2楼2018-08-21 11:08:29
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