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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

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[交流] 射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率和等离子体清洗机的功率有什么区别？已有1人参与

我们实验室里的等离子体清洗机只有一种功率，我看别的实验室里有ICP射频的等离子体刻蚀的，分上功率和下功率，这有什么区别呢？而且两者一个是交流一个是直流吗？？分不清。。

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1楼 2018-08-15 16:36:43

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struggleing

新虫 (初入文坛)

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★
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射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率都是射频电源，也就是交流电。等离子体清洗机是啥？干法去胶机吗

2楼2018-08-21 11:08:29

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