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jichenxi0730铁虫 (小有名气)
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[交流]
射频ICP等离子体刻蚀机的上下功率和等离子体清洗机的功率有什么区别? 已有1人参与
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我们实验室里的等离子体清洗机只有一种功率,我看别的实验室里有ICP射频的等离子体刻蚀的,分上功率和下功率,这有什么区别呢?而且两者一个是交流一个是直流吗??分不清。。 发自小木虫IOS客户端 |
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