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sherwzy

新虫 (小有名气)

[求助] 关于MBE的使用

MBE中的vent的作用,谢谢

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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

vent就是直排反应室外,run是向反应室内排气。vent和run一般是靠气动阀连动控制的,气体要么vent要么run。在run之前,气体已先走vent,反应时再由vent切换到run,这样供气的流量才是陡峭的,易于生长陡峭的异质结。MOCVD常用此法。

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没有困难创造困难也要上网。
2楼2018-08-15 12:58:02
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