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【求助】如何除去基体材料上的TiC薄膜
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各位虫友,大家好! 小弟利用磁控溅射制备TiC薄膜,有一些样品表面不是很理想,想除去表面的TiC薄膜,从而使基体能再利用,有没有一种方法能除去TiC薄膜,而不会伤害到基体呢?试过强酸、强碱,效果不是很理想。 谢谢! [ Last edited by ufoer on 2009-4-24 at 19:50 ] |
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ufoer
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