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【求助】如何除去基体材料上的TiC薄膜
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各位虫友，大家好！ 小弟利用磁控溅射制备TiC薄膜，有一些样品表面不是很理想，想除去表面的TiC薄膜，从而使基体能再利用，有没有一种方法能除去TiC薄膜，而不会伤害到基体呢？试过强酸、强碱，效果不是很理想。 谢谢！ [ Last edited by ufoer on 2009-4-24 at 19:50 ] |
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