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ahongness

铁虫 (小有名气)

[求助] 如何解决拍氧化铝陶瓷膜支撑体SEM图片charging的问题 已有1人参与

请问大家拍片式氧化铝陶瓷膜支撑体的SEM照片时有什么技巧啊,如何解决放电严重的问题?我是用导电胶把陶瓷膜表面粘在底部的导电胶上,表面喷金2分钟。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

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ahongness: 金币+10, 有帮助 2018-08-02 18:27:43
上表面和台子之间要用导电胶带或者银胶粘一下,然后再喷金
2楼2018-08-02 11:44:55
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ahongness

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-08-02 11:44:55
上表面和台子之间要用导电胶带或者银胶粘一下,然后再喷金

第一个回答的,分给你把。 上表面和台子用导电胶粘了,也喷金了2分钟,但还是charging。 我把Detector 从InLens 换成了SE 2 后好一些。 电压我选的2KV, WD我选的12左右。请问还有什么需要改进的地方? 设备是Zeiss的
3楼2018-08-02 18:27:27
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faujasite

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2018-08-02 22:36:52
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ahongness at 2018-08-02 18:27:27
第一个回答的,分给你把。 上表面和台子用导电胶粘了,也喷金了2分钟,但还是charging。 我把Detector 从InLens 换成了SE 2 后好一些。 电压我选的2KV, WD我选的12左右。请问还有什么需要改进的地方? 设备是Zeis ...

差不太多了,思路都是对的,分辨率肯定有下降,再不行只能考虑找环境电镜或者特殊模式的设备了,或者蔡司最新信号有个局部释放气体的技术,不过也没见过真机器,据说很贵

发自小木虫Android客户端
5楼2018-08-03 00:30:59
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ahongness

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by faujasite at 2018-08-02 22:36:52
荷电问题,一般就是喷金、降电压、降电流、减速模式这几个方法吧。当然,制样很重要!一次和日立工程师交流,他说大部分扫描拍不好都是制样的问题。

谢谢你的回答,陶瓷膜的化制样需要注意什么呢?
6楼2018-08-05 13:10:27
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faujasite

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2018-08-05 14:25:50
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