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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 催化 » 表征 » 如何解决拍氧化铝陶瓷膜支撑体SEM图片charging的问题
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ahongness

铁虫 (小有名气)

[求助] 如何解决拍氧化铝陶瓷膜支撑体SEM图片charging的问题 已有1人参与

请问大家拍片式氧化铝陶瓷膜支撑体的SEM照片时有什么技巧啊，如何解决放电严重的问题？我是用导电胶把陶瓷膜表面粘在底部的导电胶上，表面喷金2分钟。
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1楼 2018-08-02 10:37:44
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ahongness: 金币+10, ★有帮助 2018-08-02 18:27:43
上表面和台子之间要用导电胶带或者银胶粘一下，然后再喷金
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2楼2018-08-02 11:44:55
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ahongness

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-08-02 11:44:55
上表面和台子之间要用导电胶带或者银胶粘一下，然后再喷金

第一个回答的，分给你把。 上表面和台子用导电胶粘了，也喷金了2分钟，但还是charging。 我把Detector 从InLens 换成了SE 2 后好一些。 电压我选的2KV， WD我选的12左右。请问还有什么需要改进的地方？ 设备是Zeiss的
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3楼2018-08-02 18:27:27
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faujasite

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2018-08-02 22:36:52
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ahongness at 2018-08-02 18:27:27
第一个回答的，分给你把。 上表面和台子用导电胶粘了，也喷金了2分钟，但还是charging。 我把Detector 从InLens 换成了SE 2 后好一些。 电压我选的2KV， WD我选的12左右。请问还有什么需要改进的地方？ 设备是Zeis ...

差不太多了，思路都是对的，分辨率肯定有下降，再不行只能考虑找环境电镜或者特殊模式的设备了，或者蔡司最新信号有个局部释放气体的技术，不过也没见过真机器，据说很贵

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5楼2018-08-03 00:30:59
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ahongness

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by faujasite at 2018-08-02 22:36:52
荷电问题，一般就是喷金、降电压、降电流、减速模式这几个方法吧。当然，制样很重要！一次和日立工程师交流，他说大部分扫描拍不好都是制样的问题。

谢谢你的回答，陶瓷膜的化制样需要注意什么呢？
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6楼2018-08-05 13:10:27
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faujasite

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2018-08-05 14:25:50
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