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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » PDMS无法剥离的问题
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] PDMS无法剥离的问题 已有1人参与

请问PDMS的薄膜应该如何从基底上剥离比较方便？
我用激光在玻璃基底上做了些结构，然后进行了HF蚀刻。最后用PDMS倒模，但是PDMS很难剥离，经常直接损坏了。
看到有人说可以把玻璃基底片放到肥皂水一晚上，然后清洗干净再倒PDMS就可以，试了一下，貌似也不是很方便。
大家还有什么其他的方法么？   


非常感谢
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1楼 2018-07-21 14:44:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
kevin123581: 金币+10 2018-07-25 14:37:24
PDMS倒模有专门的脱模剂的。你找研材微纳买吧，PDMS和配套的脱模剂都有。
你的玻璃基地的流道估计粗糙度比较大，不用脱模剂很难拉开的，而且这个脱模剂不能用普通的偶联剂。
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4楼2018-07-25 14:14:37
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赶快毕业吧

木虫 (著名写手)
PDMS多厚呢？是否可以尝试将PDMS做厚些？毕竟越薄的PDMS越容易在剥离的过程中被损坏。如果PDMS不能做厚，可否尝试将基底进行腐蚀，仅留模式化的PDMS。

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2楼2018-07-21 16:00:15
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 赶快毕业吧 at 2018-07-21 16:00:15
PDMS多厚呢？是否可以尝试将PDMS做厚些？毕竟越薄的PDMS越容易在剥离的过程中被损坏。如果PDMS不能做厚，可否尝试将基底进行腐蚀，仅留模式化的PDMS。

薄厚都试过，貌似都经常弄断，或者弄不下来。 基底是玻璃的，0.5mm，腐蚀掉太费时间了 ：）
谢谢回复
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3楼2018-07-23 12:01:15
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-25 14:14:37
PDMS倒模有专门的脱模剂的。你找研材微纳买吧，PDMS和配套的脱模剂都有。
你的玻璃基地的流道估计粗糙度比较大，不用脱模剂很难拉开的，而且这个脱模剂不能用普通的偶联剂。

非常感谢，我去查一下，谢谢了
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5楼2018-07-25 14:37:21
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小羔不爱你

捐助贵宾 (正式写手)
湿法刻蚀的基底平整度不够，导致PDMS附着在上面难以剥离，可以试试看BOE溶液浸泡或者氢氧化钠水浴，不过这样做完基底差不多也就废了

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6楼2018-08-19 17:07:30
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13073650296

新虫 (正式写手)
这个和用的PDMS有关系，道康宁184对于玻璃、硅片、石英是有脱膜性的，只是还不够强，184的强度不好，所以一点的粘附力便会导致做的材料破损，建议从2方面着手，一是采用强度更好的PDMS胶，避免在揭开时段破损，二是采用脱膜性更好的PDMS材料，在固化后，轻微的抖动就可以是做的PDMS片材脱落，避免用力揭开导致的破损。
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7楼2018-09-05 14:40:43
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 13073650296 at 2018-09-05 14:40:43
这个和用的PDMS有关系，道康宁184对于玻璃、硅片、石英是有脱膜性的，只是还不够强，184的强度不好，所以一点的粘附力便会导致做的材料破损，建议从2方面着手，一是采用强度更好的PDMS胶，避免在揭开时段破损，二是 ...

非常感谢，我用的就是184的。 再请教一个问题，对于经过硅烷化的玻璃基底，在做了PDMS后，完成后该基底能否继续使用？  或者再次使用的时候，是否需要再次硅烷化？
对于硅烷化的药剂毒性，在30min烘烤后，基底能否直接用手触摸？  
非常谢谢
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8楼2018-09-05 15:41:05
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 小羔不爱你 at 2018-08-19 17:07:30
湿法刻蚀的基底平整度不够，导致PDMS附着在上面难以剥离，可以试试看BOE溶液浸泡或者氢氧化钠水浴，不过这样做完基底差不多也就废了

非常感谢，我有用BOE，情况貌似差不多。
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9楼2018-09-05 15:42:09
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-25 14:14:37
PDMS倒模有专门的脱模剂的。你找研材微纳买吧，PDMS和配套的脱模剂都有。
你的玻璃基地的流道估计粗糙度比较大，不用脱模剂很难拉开的，而且这个脱模剂不能用普通的偶联剂。

好的 非常感谢
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10楼2018-09-05 15:42:39
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