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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】SEM-EDX和SEM-BES的区别？
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dongjue

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】SEM-EDX和SEM-BES的区别？

请教下SEM-EDX和SEM-BES在测试方法上的区别？样品制备上的区别？以及对于测试后的图谱的分析主要用于什么方面的分析？以及这两者在分析说明问题的侧重点是什么？

[ Last edited by SHY31 on 2009-3-30 at 14:19 ]
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又见木虫!!
1楼 2009-03-30 11:11:16
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洛阳学子

荣誉版主 (著名写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-30 14:18
前者是能谱分析,后者是波谱分析
两个的具体内容可以参看任何一个材料表征的书,里面都有的,具体内容我也记不清了
很多电镜上带的都是EDX(或EDS)
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http://www.its.org/http://zhy-xianger.blog.163.com/blog/static/5678852220094304245190/
2楼2009-03-30 12:03:27
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dongjue

银虫 (小有名气)
两者在样品测定上有什么差异么？对样品尺度，比如必须是微米以上才能测定有要求么？
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又见木虫!!
3楼2009-03-30 13:39:48
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阿木7852

木虫 (正式写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):呵呵，常规的能谱很难探测到轻元素H 4-4 00:02
我也寻求解答。。。。是不是不能探测到H原子？
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做男人很累。。。是的。。。没错。。。
4楼2009-04-02 23:55:46
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园丁

金虫 (小有名气)
★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):能谱与波谱的优缺点对比很精辟 4-4 00:03
能谱分析与波谱分析的比较
（1）能谱分析速度快。
（2）能谱仪的灵敏度可比波谱仪高一个数量级。
（3）能谱仪的结构远比波谱仪紧凑得多。
能谱仪的不足主要表现在：
（1）谱线的重叠现象严重。
（2）波谱仪可以分析的浓度下限（约05%左右）以及定量分析精度比能谱仪高得多。
（3）Si（Li）探头必须始终保持在液氮冷却的低温状态。
一般可以测定Z大于S的物质，表面几个微米。
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学海无涯，书山有路
5楼2009-04-03 01:23:56
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hq830205

金虫 (初入文坛)
★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):回答正确 4-4 00:00
ufoer(金币+0,VIP+0):WDS才是波谱，我也怀疑BES是背散射 4-4 00:01
SEM-BES是什么啊？应该是SEM-BSE（背散射电子相）吧？
还有二楼说SEM-BES是波谱，不对吧？我记得波谱好像是WDS？
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6楼2009-04-03 19:58:29
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hq830205

金虫 (初入文坛)
EDS测定成分时，相尺寸如果小于大概5微米，就会由于电子束的漂移导致测定结果不可靠，也就是说EDS成分分析的空间分辨率极限约为5微米（当然有些调试得比较好的EDS也可以达到2微米）
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7楼2009-04-03 20:21:28
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