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Stober法 在硅上长薄膜 已有1人参与
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| 求问有大侠做过用Stober法在硅表面上长一层SiO2薄膜,或者用Stober法在硅球上长过SiO2层的吗?问下有没具体的文献,或者用的活化剂和各种比例是多少? |
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