【答案】应助回帖

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

光刻

» 猜你喜欢

无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有134人回复

1楼2018-07-04 17:45:04

伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)

应助: 31 (小学生)
金币: 10755.6
散金: 800
红花: 14
帖子: 2766
在线: 98.8小时
虫号: 2394510
注册: 2013-04-01
性别: GG
专业: 半导体光电子器件

这是蒸镀的材料怕去胶剂，所以要先退火后去胶吗？

发自小木虫IOS客户端

2楼2018-07-04 20:05:45

qqw2410

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 13
红花: 3
帖子: 8
在线: 4.8小时
虫号: 4736613
注册: 2016-05-30
专业: 集成电路制造与封装

引用回帖:

2楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2018-07-04 20:05:45
这是蒸镀的材料怕去胶剂，所以要先退火后去胶吗？

不是的，我是看一篇发明专利中写道，是用这一种光刻胶来定型厚膜电阻形状，就是对光刻曝光、显影形成厚膜电阻的图案（槽），然后再以这个图案印刷厚膜电阻，最后一同放进烧结炉焙烧。
但是一般看光刻胶都是用去胶剂的，而且只找到一篇专利写道这个方法，所以想问下是否存在这种可以通过高温去除（烧没了）的光刻胶。

3楼2018-07-04 20:33:34

松井咲子

铜虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 234.2
红花: 2
帖子: 59
在线: 17.1小时
虫号: 3311460
注册: 2014-07-07
性别: GG
专业: 微/纳机械系统

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qqw2410: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-08 20:46:27

嗯。。。这个不是什么特殊的光刻胶，所有的碳氢化合物（或者说有机物）都可以被“烧没了”，这叫灰化（人也一样。。。）。你说的这个专利里用到的技术我也做过，不过用来做别的。这种大深宽比的用SU8就可以做的。600度或700度两个小时就可以灰化完全。但是不是说曝光部分就能留下来，不曝光部分就能去除，所有的有机物都灰化了。你再理解一下那篇专利，就是这样的。

赞一下(1人)

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

liushui21

4楼2018-07-07 11:09:45

qqw2410

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 13
红花: 3
帖子: 8
在线: 4.8小时
虫号: 4736613
注册: 2016-05-30
专业: 集成电路制造与封装

引用回帖:

4楼: Originally posted by 松井咲子 at 2018-07-07 11:09:45
嗯。。。这个不是什么特殊的光刻胶，所有的碳氢化合物（或者说有机物）都可以被“烧没了”，这叫灰化（人也一样。。。）。你说的这个专利里用到的技术我也做过，不过用来做别的。这种大深宽比的用SU8就可以做的。60 ...

感谢您的回答，原来真的可以这样做。那我还想请问下，这个技术灰化后应该会在基板上有残留物吧？这个残留物要怎么去除呢，酒精擦拭掉就可以了么？

5楼2018-07-08 20:49:09

liushui21

银虫 (正式写手)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 1265.2
散金: 66
红花: 4
沙发: 3
帖子: 391
在线: 110.7小时
虫号: 208690
注册: 2006-03-06
专业: 化学

送红花一朵

引用回帖:

我也想了解下。其实真心不太懂光刻胶。我想在我的基板上筑个槽，感觉跟那个专利的差不多。

通常情况下，可以得到一个大概20um宽 10um深的槽吗？

6楼2018-08-05 16:21:55