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n型重掺GaN电化学腐蚀
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romaer
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n型重掺GaN电化学腐蚀
为了选择性腐蚀n型重掺GaN,样品(镀Ti/Pt/Au)接在电源正极,金丝接在电源负极。腐蚀液0.3M草酸,在电压6V或20V下腐蚀3h,没有明显反应,是电极接错了?还是其他哪个地方不对?
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