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夏一

银虫 (小有名气)

[求助] 化学气相沉积 硅

有没有大佬用硅烷做CVD沉积，硅烷空气中自燃，尾气怎么处理比较靠谱，沉积过程中要注意些什么？

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1楼 2018-07-03 17:54:53
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