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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】我做水热生长纳米氧化锌，衬底是硅片，为什么膜的附着率很低！
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blueegg

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】我做水热生长纳米氧化锌，衬底是硅片，为什么膜的附着率很低！

大家好！我用水热法生长氧化锌薄膜，用硅片当衬底，无论时间长短，硅片的附着率都很低，打开水热罐，看着硅片上有东西，一拿出来就被水热溶液冲掉了，怎么回事，请大家指点下！
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努力！
1楼 2009-03-28 15:55:17
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大头鱼1702

捐助贵宾 (正式写手)

PHD
★ ★
blueegg(金币+1,VIP+0):谢谢你的意见 4-7 10:36
blueegg(金币+1,VIP+0):谢谢 4-12 20:08
同意2楼的说法，做ZnO的话，Sputter 一层Zn就可以了
Si的晶格失配很严重，可以现在O2里面把Si表面氧化为SiO2再Sputter就差不多了

[ Last edited by 大头鱼1702 on 2009-4-5 at 21:38 ]
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PDF不是好东西
6楼2009-04-05 21:36:04
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yipinchun

金虫 (著名写手)
★ ★ ★
blueegg(金币+1,VIP+0):对了，忘说了，我用激光在硅片上镀了氧化锌，还有用铜片，铝片的话附着率比硅片好一点！但也好不到哪去 3-29 08:58
blueegg(金币+2,VIP+0):谢谢 3-30 08:50
没有种子.

制造种子,

种子方法:
1, sputter Zn 或者ZnO
2, 甩胶 氧化锌的胶体,然后高温退火
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信春哥，得永生
2楼2009-03-28 16:18:19
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blueegg

金虫 (正式写手)
对了，忘说明了，我在衬底硅片上，用脉冲激光镀的有氧化锌缓冲层。而且在铜片和铝片（没有缓存层）上要比在硅片上附着率好点，但也好不到哪去。请大家指点！
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努力！
3楼2009-03-29 09:01:48
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★ ★
blueegg(金币+1,VIP+0):谢谢！ 4-1 11:10
blueegg(金币+1,VIP+0):谢谢 4-12 20:07
有这方面的文献，可以看看他们怎么处理！
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4楼2009-03-31 13:25:25
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