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四探针测wafer方阻都受哪些因素影响
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测试掺杂片数值一直有上升趋势，掺杂片为111晶向，与这种掺杂片工艺相关性大吗？这种测试值上升的现象是如何导致的，那些环境因素会影响到测试值上升？ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2018-06-27 18:52:46