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September5

新虫 (初入文坛)

[求助] 四探针测wafer方阻都受哪些因素影响

测试掺杂片数值一直有上升趋势，掺杂片为111晶向，与这种掺杂片工艺相关性大吗？这种测试值上升的现象是如何导致的，那些环境因素会影响到测试值上升？

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1楼 2018-06-27 18:51:33
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September5

新虫 (初入文坛)
半导体掺杂工艺和四探针测试原理方向

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2楼2018-06-27 18:52:46
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