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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 多晶硅生产中精馏提纯工艺
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王海军8689

新虫 (小有名气)

[交流] 多晶硅生产中精馏提纯工艺 已有4人参与

多晶硅生产中精馏工艺，哪些厂家有使用填料塔，什么填料适合该工况，并且可以把杂质含量控制在1ppb以下。

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1楼 2018-06-24 14:00:21
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liumang123

铜虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你说的杂质是是什么物质 是气体杂质还是金属杂质
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QQ634895221
2楼2018-06-27 14:10:51
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fzm1108

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
CDI 原工艺包设计的是Mallpak 250Y的填料，但是这个现在都老了，现在有plus版的填料，应该很多的吧，国内用的较多的就是天大的、江苏的有个不知道叫啥了。
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3楼2018-06-27 19:18:57
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王海军8689

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liumang123 at 2018-06-27 14:10:51
你说的杂质是是什么物质 是气体杂质还是金属杂质

多晶硅的体金属杂质

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4楼2018-06-28 23:41:53
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王海军8689

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by fzm1108 at 2018-06-27 19:18:57
CDI 原工艺包设计的是Mallpak 250Y的填料，但是这个现在都老了，现在有plus版的填料，应该很多的吧，国内用的较多的就是天大的、江苏的有个不知道叫啥了。

我看现在填料材料挺多，聚四氟填料，氮化硅填料，不锈钢等等，不知道他们工业化应用的情况

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5楼2018-06-28 23:49:37
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liumang123

铜虫 (著名写手)
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4楼: Originally posted by 王海军8689 at 2018-06-28 23:41:53
多晶硅的体金属杂质
...

用填料塔控制金属杂质 我觉得很难做到1ppbw的水平
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QQ634895221
6楼2018-06-29 16:04:17
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王海军8689

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 王海军8689 at 2018-06-28 23:49:37
我看现在填料材料挺多，聚四氟填料，氮化硅填料，不锈钢等等，不知道他们工业化应用的情况
...

是的，我就是想知道这些填料工业化情况，以前峨眉半导体还做过Ni基合金的一套精馏，还原，说是效果不错

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7楼2018-06-29 22:09:25
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283921142

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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4楼: Originally posted by 王海军8689 at 2018-06-28 23:41:53
多晶硅的体金属杂质
...

我有材料，固体的，通过搅拌可以吸附ppb级别的金属杂质，不晓得能否帮到你
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8楼2018-07-04 10:31:28
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chjzhou01

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
9楼2018-09-15 17:53:00
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