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rocketer

新虫 (初入文坛)

[交流] 几年前的Cu薄膜表面氧化层处理经验哪位有?~~~ 已有1人参与

几年前的Cu薄膜表面氧化层处理经验哪位有?~~~

几年前在Si(100)基体上磁控溅射的纳米晶Cu薄膜,表面看起来还不错,保存得挺好,
但拿到扫描电镜下观看就不行了,聚焦就变黑,
分析是因为表面有层氧化膜的原因,

上网查了一下,似乎应该用稀盐酸处理,这样氧化层能被处理掉,Cu薄膜还不反应,
有人做过吗?

稀盐酸应该用多少浓度?是浸泡一定时间呢?还是短暂地在里面蘸一下呢?

哪位有经验能否指导指导,这里先行谢过~~~~~~~~~
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zheeyhm

新虫 (初入文坛)


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5%-10%稀盐酸或者稀硫酸浸泡30秒左右,取出,然后用纯水清洗几遍,快速吹干,烘干即可

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2楼2018-06-21 10:20:33
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rocketer

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by zheeyhm at 2018-06-21 10:20:33
5%-10%稀盐酸或者稀硫酸浸泡30秒左右,取出,然后用纯水清洗几遍,快速吹干,烘干即可

谢谢!我用大约10%的稀盐酸滴了一下一个样品,几秒钟,然后冲洗吹干,扫描电镜下效果还不错。
另一个样品我泡了10分钟,拿出来后感觉光亮度没什么变化,清洗吹干后不久有些地方开始发黑了。
试验后觉得蘸了一下几秒钟稀盐酸效果就不错。
1
3楼2018-06-22 01:39:36
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