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光学衍射中分辨率R=Kλ/NA中, k的相关影响因素有哪些?
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| 各位大神,光刻曝光中,最小分辨率R=Kλ/NA中, k是工艺系数。许多资料中都只笼统的说k跟具体工艺相关,一般为0.25~1的某个值,但是具体的到底跟什么相关呢?具体的影响因素/参数是什么呢? |









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