| 查看: 3385 | 回复: 0 | |||
[交流]
光学衍射中分辨率R=Kλ/NA中, k的相关影响因素有哪些？
|
| 各位大神，光刻曝光中，最小分辨率R=Kλ/NA中, k是工艺系数。许多资料中都只笼统的说k跟具体工艺相关，一般为0.25~1的某个值，但是具体的到底跟什么相关呢？具体的影响因素/参数是什么呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有263人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
