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光学衍射中分辨率R=Kλ/NA中, k的相关影响因素有哪些？
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| 各位大神，光刻曝光中，最小分辨率R=Kλ/NA中, k是工艺系数。许多资料中都只笼统的说k跟具体工艺相关，一般为0.25~1的某个值，但是具体的到底跟什么相关呢？具体的影响因素/参数是什么呢？ |
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