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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 离子注入的旋转角度如何理解？
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心静我静

新虫 (初入文坛)

[求助] 离子注入的旋转角度如何理解？ 已有1人参与

请问 离子注入工艺中，具体参数包括：注入角度为15度~35度，旋转角度为90度，旋转次数为1次。这里的旋转角度如何理解，通常想要达到什么效果？
在此先谢谢各位高人了！
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1楼 2018-06-13 16:18:56
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LEO_LIU

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

就是起始角度，定位边朝下为0度
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2楼2018-06-20 11:30:56
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