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离子注入的旋转角度如何理解？ 已有1人参与
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请问 离子注入工艺中，具体参数包括：注入角度为15度~35度，旋转角度为90度，旋转次数为1次。这里的旋转角度如何理解，通常想要达到什么效果？ 在此先谢谢各位高人了！ |
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2楼2018-06-20 11:30:56