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心静我静

新虫 (初入文坛)

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专业: 微生物生理与生物化学

[求助] 离子注入的旋转角度如何理解？已有1人参与

请问离子注入工艺中，具体参数包括：注入角度为15度~35度，旋转角度为90度，旋转次数为1次。这里的旋转角度如何理解，通常想要达到什么效果？
在此先谢谢各位高人了！

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1楼 2018-06-13 16:18:56

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LEO_LIU

银虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

【答案】应助回帖

就是起始角度，定位边朝下为0度

2楼2018-06-20 11:30:56

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