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水电费主管

铁虫 (初入文坛)

[求助] 哪个单位可以代加工吗?pecvd沉积 sio2约 200nm 已有1人参与

就几个1.5mm的碎片

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091820053

禁虫 (知名作家)

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2楼2018-06-13 12:37:51
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-13 12:37:51
这里可以

你们测过sio2薄膜绝缘性吗?

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3楼2018-06-13 13:44:55
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zsnano

金虫 (正式写手)


感谢参与,应助指数 +1
月牙儿的微笑: 金币-1, 屏蔽内容, 违规存档, 不允许留联系方式 2018-06-15 16:16:03
本帖内容被屏蔽

4楼2018-06-14 09:33:47
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zsnano

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 水电费主管 at 2018-06-13 13:44:55
你们测过sio2薄膜绝缘性吗?
...

PEcvd沉积的sio2,厚度300nm+-5,电导率实测值在1012Ω/cm,在绝缘体的范围内。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2018-06-14 10:01:48
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by zsnano at 2018-06-14 10:01:48
PEcvd沉积的sio2,厚度300nm+-5,电导率实测值在1012Ω/cm,在绝缘体的范围内。...

请问Si3N4绝缘性是否更好?另外,我使用的样片不适合在高温下进行氧化生长

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6楼2018-06-14 10:21:16
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zsnano

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 水电费主管 at 2018-06-14 10:21:16
请问Si3N4绝缘性是否更好?另外,我使用的样片不适合在高温下进行氧化生长
...

常规温度75度左右的氧化层,致密性肯定没有300度做好的。看你使用需求,可以考虑做厚点1um。
7楼2018-06-14 11:10:57
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)


月牙儿的微笑: 金币-1, 屏蔽内容, 违规存档, 不允许留联系方式 2018-06-15 16:16:18
本帖内容被屏蔽

8楼2018-06-14 21:13:20
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zsnano

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 水电费主管 at 2018-06-14 10:21:16
请问Si3N4绝缘性是否更好?另外,我使用的样片不适合在高温下进行氧化生长
...

常规温度75度左右的氧化层,致密性肯定没有300度做好的。看你使用需求,可以考虑做厚点1um。
9楼2018-06-15 09:08:35
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