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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

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[交流] 等离子体刻蚀是否会产生高温？已有1人参与

干法刻蚀中的等离子体刻蚀，是否在加工过程中在与样品接触表面产生高温？从而影响光刻胶的性质

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1楼 2018-06-11 17:46:57

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by huang117365 at 2018-06-12 23:00:21
会产生温度，但是不会很高。像TFT的干法刻蚀，会对腔室通一定温度的冷却液来调节腔室的温度，还会在承载基板的电极底部通He，来降低等离子刻蚀产生的温度，使得基板温度不会过高。干法刻蚀的温度一般就几十度，应该 ...

好的！谢谢您！

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