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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 等离子体刻蚀是否会产生高温？
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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 等离子体刻蚀是否会产生高温？ 已有1人参与

干法刻蚀中的等离子体刻蚀，是否在加工过程中在与样品接触表面产生高温？从而影响光刻胶的性质

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1楼 2018-06-11 17:46:57
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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huang117365 at 2018-06-12 23:00:21
会产生温度，但是不会很高。像TFT的干法刻蚀，会对腔室通一定温度的冷却液来调节腔室的温度，还会在承载基板的电极底部通He，来降低等离子刻蚀产生的温度，使得基板温度不会过高。干法刻蚀的温度一般就几十度，应该 ...

好的！谢谢您！

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3楼2018-06-13 11:01:37
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huang117365

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
会产生温度，但是不会很高。像TFT的干法刻蚀，会对腔室通一定温度的冷却液来调节腔室的温度，还会在承载基板的电极底部通He，来降低等离子刻蚀产生的温度，使得基板温度不会过高。干法刻蚀的温度一般就几十度，应该是不会对光刻胶的性质产生影响的。
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2楼2018-06-12 23:00:21
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