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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 光刻胶AZ5214e和AR-p5350哪个更好清洗，哪个更好进行氧等离子体刻蚀？
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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶AZ5214e和AR-p5350哪个更好清洗，哪个更好进行氧等离子体刻蚀？ 已有1人参与

如题，准备用正胶进行刻蚀。哪个好被清洗掉，因为我的样品不可以超声只能浸泡，然后我要进行氧等离子体刻蚀，哪个与氧气反应更小？因为之前在网上查看到说AZ5214e在遇氧容易曝光，是这样吗？

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1楼 2018-06-11 17:16:26
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QXCXC

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
超声和蚀刻影响吗
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2楼2018-07-19 09:15:31
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