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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶AZ5214e和AR-p5350哪个更好清洗,哪个更好进行氧等离子体刻蚀? 已有1人参与

如题,准备用正胶进行刻蚀。哪个好被清洗掉,因为我的样品不可以超声只能浸泡,然后我要进行氧等离子体刻蚀,哪个与氧气反应更小?因为之前在网上查看到说AZ5214e在遇氧容易曝光,是这样吗?

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QXCXC

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
超声和蚀刻影响吗
2楼2018-07-19 09:15:31
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