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lsl470

铁虫 (小有名气)

[求助] 需要对长在硅片和蓝宝石上的合金薄膜进行透射电镜观察,请问怎么对样品进行预处理啊? 已有1人参与

薄膜厚度在10nm到100nm之间,磁控溅射生长在硅片和蓝宝石基底上,求对样品进行预处理使其便于透射电镜下可以观察的方法?第一次弄这个,求解答。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
FIB切或者手磨,如果能直接喷在标准铜网上最好,但是如果必须要看界面或者不能换基底那就只能用前面的办法,很贵很麻烦,但是没别的选择
2楼2018-06-10 16:17:03
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williamsh

新虫 (小有名气)

先对粘,再切条,再灌管,再切片,再磨,再离子减薄

发自小木虫Android客户端
3楼2018-06-13 20:51:15
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