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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 靶材取不下来怎么办？
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 靶材取不下来怎么办？ 已有3人参与

磁控溅射钼靶材，现在取不下来了，不知道是什么原因。。

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1楼 2018-06-07 21:43:35
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
压条卡住了？用木锤慢慢敲一角
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-06-13 18:39:27
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
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2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-13 18:39:27
压条卡住了？用木锤慢慢敲一角

直接用螺丝刀翘的，螺丝刀都弯了，可是靶材还是没下来

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3楼2018-06-13 20:14:50
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williamsh

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
怎么安装上去的?

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4楼2018-06-13 21:30:42
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
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4楼: Originally posted by williamsh at 2018-06-13 21:30:42
怎么安装上去的?

固定套圈，上面有三个固定的螺丝，现在螺丝弄下来了，但是靶材和套圈都下不了

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5楼2018-06-14 09:08:39
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
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5楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2018-06-14 02:08:39
固定套圈，上面有三个固定的螺丝，现在螺丝弄下来了，但是靶材和套圈都下不了
...

套圈和靶材连在一起，说明当初靶材制作的有点大了，卡在一起了。其他不好说，最好提供下照片。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2018-06-14 10:09:09
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
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6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-14 10:09:09
套圈和靶材连在一起，说明当初靶材制作的有点大了，卡在一起了。其他不好说，最好提供下照片。...

现在靶材从底座上也取不下来

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7楼2018-06-14 16:43:36
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小明同学哦

禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
8楼2018-09-12 17:14:32
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
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8楼: Originally posted by 小明同学哦 at 2018-09-12 17:14:32
是不是功率太高压片穿孔和靶材长一起了，如果长在一起的话，靶材和压片就都废了，买新的吧。

。。。功率太高不就会熔掉吗？可是并没有熔呀

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9楼2018-09-12 17:29:15
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