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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 降低电阻率
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qyd东

新虫 (正式写手)

[求助] 降低电阻率 已有2人参与

怎样能降低薄膜的电阻率呢？如氧化锌，二氧化钛薄膜

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-06-07 11:26:19
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-06-07 12:32:42
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一个提高载流子迁移率，一个提高载流子浓度。
想办法提高膜层结晶度，同时增加氧空位浓度或者掺杂其他元素。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-06-07 15:16:20
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
加入导电粉体也可以呀。铜粉，石墨粉什么的
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4楼2018-06-07 15:47:35
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tom055248

新虫 (小有名气)
改質阿
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5楼2018-06-11 13:10:20
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qyd东

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-07 15:16:20
一个提高载流子迁移率，一个提高载流子浓度。
想办法提高膜层结晶度，同时增加氧空位浓度或者掺杂其他元素。

提高结晶质量是可以，也做了一些处理，比如退火等，但结果还是不理想

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6楼2018-06-12 15:17:49
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by qyd东 at 2018-06-12 08:17:49
提高结晶质量是可以，也做了一些处理，比如退火等，但结果还是不理想
...

你可以在沉积过程中进行加温250~350度，也可以沉积过程中控制氧含量的浓度2%。
最显著的当然是掺杂，掺杂少量元素就可以大幅度提高性能（电导率和稳定性），比如Al、In、Ga等
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
7楼2018-06-12 16:10:40
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qyd东

新虫 (正式写手)
这些处理都做了，不过沉积时是在氮气环境中，差不多电阻率可以达到负4次方，但都是九点几，八点几的，所以就想问问还有其他方法能再降低些

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8楼2018-06-13 05:49:18
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飞到月球_

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by tom055248 at 2018-06-11 13:10:20
改質阿

怎么改质呢

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9楼2018-06-15 01:14:42
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tom055248

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 飞到月球_ at 2018-06-15 01:14:42
怎么改质呢
...

可以使用濺鍍sputter 或蒸鍍Deposition鍍上一層導電層
可以填補薄膜上的空隙減少電阻
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10楼2018-06-15 13:23:24
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