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随心所动

银虫 (小有名气)

[交流] PECVD的设备结构特点

请教一下各位做PECVD方面的大神们，slit valve effect指什么？POF（physical offset RF feed）指什么？希望指教。谢谢！
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1楼 2018-06-05 21:47:58
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