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机电叶子

新虫 (初入文坛)

[求助] 深硅刻 已有1人参与

小白咨询一个简单问题,10μm属于深硅刻吗,大家一般用什么材料做掩膜呢?我打算用这个机子HSE200S
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
属于
光刻胶做掩膜,你这个深度比较薄的胶就行,比如6130,可以咨询研材微纳的技术。
北方微的机器刻这个深度没什么问题,很简单的。
2楼2018-06-06 16:08:05
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