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lxb01230

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射 已有2人参与

求教大神，我们MKS的质量流量计，设定值与显示值不一样，且不论大气状态还是真空状态，呈现一种周期性变化，

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1楼 2018-06-04 21:39:20
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njut_wj

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
MFC是有量程的，300scc的你用来通10scc的可能会出现显示值和设定值不一样。
如果是300scc的量程，你通200scc的试试？
如果你只要10scc的流量，用20scc的MFC
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Focus
3楼2018-08-16 17:11:30
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