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lxb01230

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射 已有2人参与

求教大神,我们MKS的质量流量计,设定值与显示值不一样,且不论大气状态还是真空状态,呈现一种周期性变化,

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njut_wj

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
MFC是有量程的,300scc的你用来通10scc的可能会出现显示值和设定值不一样。
如果是300scc的量程,你通200scc的试试?
如果你只要10scc的流量,用20scc的MFC
Focus
3楼2018-08-16 17:11:30
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