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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射镀sio2
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀sio2 已有1人参与

用磁控溅射镀sio2做一个绝缘层，结果导通了该怎么办

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1楼 2018-06-04 11:20:14
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
太薄了吧

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2楼2018-06-04 11:31:50
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2018-06-04 12:38:53
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2018-06-04 11:31:50
太薄了吧

看表面颜色初步估计100多nm

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4楼2018-06-04 14:46:43
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wanghuaxing at 2018-06-04 12:38:53
做厚点试试

嗯嗯，我再试试

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5楼2018-06-04 14:46:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
片子脏，有针孔，就是容易导通。
如果你做绝缘的话，硅衬底的话最好直接用热氧做好的片子。
如果是其它衬底，击穿要求不高的话，可以用溅射做氧化硅，但片子一定要干净。
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水电费主管
6楼2018-06-06 16:17:45
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2Dmaterial

金虫 (正式写手)
是不是击穿了

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悟已往之不谏，知来者之可追
7楼2018-06-06 18:13:49
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)
送红花一朵
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6楼: Originally posted by yswyx at 2018-06-06 16:17:45
片子脏，有针孔，就是容易导通。
如果你做绝缘的话，硅衬底的话最好直接用热氧做好的片子。
如果是其它衬底，击穿要求不高的话，可以用溅射做氧化硅，但片子一定要干净。

所以磁控溅射不适合做绝缘层吗

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8楼2018-06-08 08:58:16
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水电费主管

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 2Dmaterial at 2018-06-06 18:13:49
是不是击穿了

就是电极直接和衬底相通了

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9楼2018-06-08 08:59:07
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williamsh

新虫 (小有名气)
质量差，空隙多，缺陷多，所以导通了。

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10楼2018-06-13 22:05:53
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