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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射放电不稳
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luobingchi

新虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射放电不稳 已有1人参与

那位大师知道高功率脉冲磁控溅射放电不稳，蓝光一闪一闪的。我使用的是霍丁格直流电源，外加脉冲电源。

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1楼 2018-06-03 13:02:06
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rocketer

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

充电电压试过多少范围？
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1
5楼2018-06-19 20:28:19
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luobingchi

新虫 (小有名气)
放电气压在0.4pa-10pa，都不行，试了很多参数

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2楼2018-06-09 18:03:24
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williamsh

新虫 (小有名气)
做的什么膜?

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3楼2018-06-13 22:07:55
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luobingchi

新虫 (小有名气)
金属膜

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4楼2018-06-19 19:18:07
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