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liuxixian521新虫 (小有名气)
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[求助]
深硅刻蚀工艺求助 已有1人参与
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各位大神好！实验室新买的ICP刻蚀机做不了BOSCH工艺，背氦的冷却能力也只能到15℃左右，如何实现高深宽比的深硅刻蚀，并且刻蚀速度较快？ 实验室现有气体（SF6、C4F8、O2/Ar、N2） 注：本人尝试过伪BOSCH工艺（同时通入SF6和C4F8），但刻蚀速度太慢，只能达到0.26um/min. |
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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不能设定循环？谁家的ICP啊？ 如果不能做钝化的话，深硅刻蚀就不能保证了。 建议直接求助设备厂家吧。 |
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liuxixian5212楼2018-05-31 12:56:41
liuxixian521
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