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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 硅片湿法刻蚀
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青春沦落在

新虫 (初入文坛)

[交流] 硅片湿法刻蚀 已有3人参与

请问哪里可以做硅片刻蚀？刻蚀微坑，微柱，或者微针阵列

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薄膜材料和器件制备

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1楼 2018-05-25 22:47:59
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
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4楼2018-06-04 15:33:33
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-05-26 07:31:04
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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微针已经非常成熟了，苏州纳米所做的量比较大。
微坑和微柱，可以找研材微纳，这些都不难。
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3楼2018-05-31 13:18:11
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sumidero

捐助贵宾 (正式写手)
★
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蚀刻有局限的，还是MEMS加工比较好，各种微针，微柱，微槽随意设置尺寸，可以加工多种金属和非金属材料。

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5楼2018-07-15 23:28:43
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