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L小懒虫

木虫 (著名写手)

[交流] 类金刚石制备中空心阴极效应已有1人参与

请问你们是怎么解决PECVD,PBII技术制备含氢类金刚石过程中空心阴极效应等造成炉腔温度上升,影响DLC的制备的问题?本人具有一定的涂层行业基础,欢迎交流。

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新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
您好,PECVD制备DLC用什么离子源比较高效?

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2楼2019-09-28 21:51:43
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L小懒虫

木虫 (著名写手)

您述说的高效是指?沉积速率不能单单从一个方面定论,离化率的目前不管是离子枪,钽管以及弧光放电等等都很高。

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3楼2019-09-29 06:42:24
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