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4吋硅片，光面的导电，如何测？谢谢
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目的：想用硅片做底层电极，在硅片上镀膜？ 问题是：购置的硅片，N/100，电阻率小于0.01欧姆！ 用万用表在光面的任意两点进行测量时，发现阻值很大，接近300K-1M欧姆！ 备注：硅片刚买回来，新的，没做任何处理。 请问这能作为底层电极吗？我想要的是电导通率非常低，如同电容的电极板。 谢谢 发自小木虫Android客户端 |
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3楼2018-05-21 09:19:04
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
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- 专业: 半导体科学与信息器件
2楼2018-05-21 09:00:13
4楼2018-07-17 09:26:05
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