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chinadoy1s

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】如何测量薄膜的厚度

本人在实验中制备了一些列不同组成铁电薄膜,厚度大概在200纳米-1.5微米,但是始终没有办法测量其厚度,不知哪位在这一方面做过一些工作,请不吝赐教!

[ Last edited by SHY31 on 2009-3-24 at 09:56 ]
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fq20021220

银虫 (小有名气)

★ ★
SHY31(金币+1,VIP+0):鼓励一下 3-24 09:56
chinadoy1s(金币+1,VIP+0):全面 3-25 16:47
用椭偏或台阶仪!!
2楼2009-03-23 23:37:27
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lin886scu

银虫 (小有名气)


chinadoy1s(金币+1,VIP+0):ok 3-25 16:48
用椭偏仪可以测试的
3楼2009-03-24 08:26:48
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xxzhang010

银虫 (正式写手)

★ ★
SHY31(金币+1,VIP+0):鼓励一下 3-24 09:55
chinadoy1s(金币+1,VIP+0):ok 3-25 16:48
椭偏仪可以测厚度和折射率
4楼2009-03-24 08:30:05
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enquan123

金虫 (著名写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):鼓励一下 3-24 09:56
台阶仪可以实现!
No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2009-03-24 09:17:54
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idiot891

金虫 (初入文坛)

★ ★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-25 02:17
chinadoy1s(金币+1,VIP+0):比较少见,能告知做法吗? 3-25 16:49
用台阶仪测试的话
做膜前要做好台阶
样品表面要平整
台阶要分明
否则会影响测试结果
6楼2009-03-24 10:12:14
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moqifengzi

金虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):俄歇好像成本有点高 啊 3-25 02:18
俄歇成分-深度分析可以吧
7楼2009-03-24 10:36:24
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拓荒者3785

木虫 (著名写手)


chinadoy1s(金币+1,VIP+0):ok 3-25 16:49
台阶仪就可以了
8楼2009-03-24 11:27:34
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