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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » GaAs的干法刻蚀
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chichister

金虫 (正式写手)

[求助] GaAs的干法刻蚀 已有1人参与

ICP刻蚀80nm厚度的GaAs，请教用什么气体刻蚀比较快速？
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似水流年等闲过...
1楼 2018-05-17 17:25:50
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
cl2

发自小木虫Android客户端
2楼2018-05-17 21:22:17
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
bcl3

发自小木虫Android客户端
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3楼2018-05-17 21:22:28
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2018-05-18 09:30:38
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