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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 其他分析 » 测试设备求助，特殊尺寸测量
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dniw

木虫之王 (文坛精英)

文献杰出贡献

[求助] 测试设备求助，特殊尺寸测量 已有1人参与

现有一不导电的小样品，表面有一些V型槽，想测量两个V型槽的间距，图纸的尺寸是微米级的，300 um以内。
求助有没有相应的设备可以达到这个目的，不要用SEM，不导电的样品测出来的数据是不准确的。
同时想请问市场上现有没有可以连续成批次测量的设备。
谢谢。
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1楼 2018-05-17 14:57:56
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六个虫虫

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-05-22 17:00:04
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cjzhu

木虫 (著名写手)
我提几个思路
1，显微镜类，比如AFM
2，利用光的干涉条纹计算。
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3楼2018-05-22 20:32:25
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821522850

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

光学显微镜不行么？带刻度的
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4楼2018-06-15 18:38:14
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小强在家吗

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
5楼2018-06-22 07:13:00
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