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dniw

木虫之王 (文坛精英)

文献杰出贡献

[求助] 测试设备求助,特殊尺寸测量已有1人参与

现有一不导电的小样品,表面有一些V型槽,想测量两个V型槽的间距,图纸的尺寸是微米级的,300 um以内。
求助有没有相应的设备可以达到这个目的,不要用SEM,不导电的样品测出来的数据是不准确的。
同时想请问市场上现有没有可以连续成批次测量的设备。
谢谢。
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六个虫虫

禁虫 (著名写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2018-05-22 17:00:04
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cjzhu

木虫 (著名写手)


我提几个思路
1,显微镜类,比如AFM
2,利用光的干涉条纹计算。
3楼2018-05-22 20:32:25
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821522850

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

光学显微镜不行么?带刻度的
4楼2018-06-15 18:38:14
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小强在家吗

禁虫 (初入文坛)

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5楼2018-06-22 07:13:00
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