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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » MPCVD波导三销钉调试方法
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13297905202

铁虫 (初入文坛)

[求助] MPCVD波导三销钉调试方法已有1人参与

奋斗在科研路上的朋友们大家好！
     本人研一小学弟一枚，目前因为实验室搬家，导致MPCVD设备激发的等离子体球有点诡异。目前情况如下：
     当气压低于840Pa，在腔体内产生两个等离子体球。
      请各位大牛指点下，有木有调试三销钉的经验方法。
      感激不尽！

@费姚永芬 发自小木虫IOS客户端
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1楼2018-05-16 17:04:03
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wuxiaoah

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用的是不是圆柱的等离子体设备啊，当气压低的时候出现两个火球，调节三销钉是没什么效果的，除了三销钉可调外天线是否可调节，你可以加我qq  376157988
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微波等离子体设备定制（从事微波等离子体设备研发和制造10年，为浙大、中科院、南邮、天津工业等高校和研究所提供过专业设备。微信376157988）
2楼2018-05-17 18:46:21
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
840pa是激发还是工作？

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低调做人，低调做事，做对的事儿
3楼2018-05-20 08:03:53
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zlmqsj

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2018-05-24 00:36:12
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13297905202

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wuxiaoah at 2018-05-17 18:46:21
你用的是不是圆柱的等离子体设备啊，当气压低的时候出现两个火球，调节三销钉是没什么效果的，除了三销钉可调外天线是否可调节，你可以加我qq  376157988

是的，当气压低于900pa.有两个等离子体球，且等离子体球的位置也不是正好在样品台上，而是偏上约一拳距离。当气压增大，球就比较圆。

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5楼2018-05-28 00:34:47
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13297905202

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ljl520 at 2018-05-20 08:03:53
840pa是激发还是工作？

激发，工作在2k到4kpa

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6楼2018-05-28 00:36:03
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13297905202

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wuxiaoah at 2018-05-17 18:46:21
你用的是不是圆柱的等离子体设备啊，当气压低的时候出现两个火球，调节三销钉是没什么效果的，除了三销钉可调外天线是否可调节，你可以加我qq  376157988

三销钉没敢动，天线和样品台的高度都有反复调过

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7楼2018-05-28 00:39:22
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学在路上

铁虫 (正式写手)
请问一下，MPCVD装置电流维持在150 mA,调节不上怎么回事
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8楼2019-05-25 21:26:30
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