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人间时光

新虫 (初入文坛)

[求助] BOE能进到多小的小孔里面呢?已有1人参与

有50nm,100nm,300nm,500nm的小孔,厚度为60nm,BOE可是溶液可以进去吗?(考虑使用超声)

@yswyx 发自小木虫Android客户端
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
多小的孔都能近。速率不同罢了。腐蚀牺牲层的吧,孔径不同速率不同,这个要实验摸。
2楼2018-05-17 17:34:30
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