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ideal2007

银虫 (正式写手)

[交流] [求助]怎么测沉积物的厚度?

请教各位大虾

我沉积使用的金属极片很小 也就0.5X0.4cm

怎么用SEm测沉积产物的厚度?

朋友告诉做断面 但是我的极片太小 可以吗?具体怎么做?

考虑到极片太小 想使用边缘测量 但是怎么打磨边缘又是一个问题?

请大家多多指导


或者是使用其他方法测量厚度?
谢谢大家啦

为了试验着急上火哦
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tianyingge

银虫 (小有名气)

铁基体可以用测厚仪可以精确到微米,不知道你用的是啥基体。
5楼2009-03-29 12:02:42
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xglalex

铜虫 (初入文坛)

不知道afm可不可以
2楼2009-03-24 08:14:00
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Rainycc

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by xglalex at 2009-3-24 08:14:
不知道afm可不可以

该法估计够呛,因为如过要用AFM测试的话,通常是要表面的沉积物比较软,比较容易被剥离掉。而且即使是用剥离出来,要测试也不是很容易,AFM测试的区域比较小,不易得到较准确的数据。

不知道LZ的膜层厚度大概是多少,成份是什么,能否把基体组成,以及沉积过程都稍作介绍,我觉得这样会更有用于他人应助。
3楼2009-03-24 09:47:42
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ideal2007

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by Rainycc at 2009-3-24 09:47:



该法估计够呛,因为如过要用AFM测试的话,通常是要表面的沉积物比较软,比较容易被剥离掉。而且即使是用剥离出来,要测试也不是很容易,AFM测试的区域比较小,不易得到较准确的数据。

不知道LZ的膜层厚度 ...

厚度估计只有20-30纳米,沉积的是半导体 与金属基面结合力不好。
现在想用树脂包埋 在打磨 不知道行不行
4楼2009-03-24 10:13:34
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