版块导航: 正在加载中...

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (2819)
>导师招生 (861)
>虫友互识 (553)
>休闲灌水 (409)
>招聘信息布告栏 (146)
>论文投稿 (141)
>文献求助 (114)
>博后之家 (93)
>学术会议 (53)
>硕博家园 (47)
>教师之家 (40)
>考博 (40)
>考研 (39)
>公派出国 (28)
>基金申请 (22)
>找工作 (17)

返回列表

IOEqizu

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 32.5
散金: 455
红花: 1
帖子: 434
在线: 434.3小时
虫号: 3470785
注册: 2014-10-12
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] ALD咨询已有1人参与

ALD可以用来生长SiNx吗？生长条件如何？如温度?最后一般沉积速率如何？

发自小木虫Android客户端

回复此楼

» 猜你喜欢

PDMS膜在溶液中的离子透过率已经有0人回复
攒人品论文祈福已经有139人回复
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有281人回复
science advances的AAAS系统上返修已经有0人回复
science advances的AAAS系统上返修问题已经有3人回复
LDPE黑十字为什么那么大已经有0人回复
西南交通大学医学院2027年接收推荐免试攻读研究生（含直博生）已经有159人回复
西南交通大学医学院2027年接收推荐免试攻读研究生（含直博生）已经有159人回复
西南交通大学医学院2027年接收推荐免试攻读研究生（含直博生）已经有157人回复
西南交通大学医学院2027年接收推荐免试攻读研究生（含直博生）已经有152人回复
博士申请已经有14人回复

1楼 2018-05-12 11:37:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

gaoxd1610

新虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 722.8
红花: 16
沙发: 5
帖子: 877
在线: 111.2小时
虫号: 3028356
注册: 2014-03-08
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

动特no

发自小木虫Android客户端

回复此楼

2楼2018-05-12 19:18:56

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

光棍9527

新虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 876.2
散金: 10
红花: 2
帖子: 261
在线: 48.6小时
虫号: 1870983
注册: 2012-06-27
专业: 材料物理化学

可以长氮化硅薄膜的，需要用等离子体氨气或氮气，生长温度200℃左右，沉积速率0.05nm/cycle

发自小木虫Android客户端

赞一下(1人)

回复此楼

3楼2018-05-15 21:51:19

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

gaosong08

铜虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 103.1
散金: 30
红花: 2
帖子: 339
在线: 58.1小时
虫号: 575531
注册: 2008-06-18
性别: GG
专业: 能源化工

【答案】应助回帖

引用回帖:

3楼: Originally posted by 光棍9527 at 2018-05-15 21:51:19
可以长氮化硅薄膜的，需要用等离子体氨气或氮气，生长温度200℃左右，沉积速率0.05nm/cycle

氮源采用氨气或者氮气，硅源是什么呢？请教下

赞一下

回复此楼

4楼2020-05-22 15:41:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 IOEqizu 的主题更新

返回列表

24小时热门版块排行榜

IOEqizu

[求助] ALD咨询 已有1人参与

» 猜你喜欢

gaoxd1610

光棍9527

gaosong08

【答案】应助回帖

[求助] ALD咨询已有1人参与