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feixiang132

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于四探针法测方块电阻 已有4人参与

请问大家,测量薄膜的方块电阻时
对试样尺寸形状,以及薄膜厚度有什么特殊要求吗?

有没有下面2条:
1、探针距试样边缘距离不小于10倍探针间间距?
2、试样必须为正方形?

[ Last edited by feixiang132 on 2009-3-31 at 15:51 ]
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yn6319

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by feixiang132 at 2009-03-21 14:35:57:
请问大家,测量薄膜的方块电阻时
对试样尺寸形状,以及薄膜厚度有什么特殊要求吗?

有没有下面2条:
1、探针距试样边缘距离不小于10倍探针间间距?
2、试样必须为正方形?

[ Last edited by feixiang13 ...

楼主,请教下你是怎么测得
四探针说明书上,都是测得圆形的,直径修正系数,方形的是怎么算直径
11楼2010-12-09 09:54:02
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enquan123

金虫 (著名写手)

★ ★ ★
feixiang132(金币+3,VIP+0):感谢! 3-21 21:23
形状没用特殊要求,要求表面要很平整,以使四个探针都与样品表面接触良好!修正的意思是最后得到的是电阻率或电导率,便于比较把!
个人意见!
No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2009-03-21 19:11:31
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gdalo

金虫 (小有名气)


feixiang132(金币+1,VIP+0):感谢! 3-21 21:23
是不是要修正边缘效应的问题
4楼2009-03-21 19:52:32
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feixiang132

银虫 (小有名气)

继续请教
懂得给点帮助,谢谢了!!
5楼2009-03-22 16:01:50
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