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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 综合资源 » 多弧离子镀锆靶材溅射出火花是怎么回事，有大神能解决吗
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aovix

银虫 (初入文坛)

[求助] 多弧离子镀锆靶材溅射出火花是怎么回事，有大神能解决吗 已有1人参与

有大神支招吗

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1楼 2018-04-18 23:16:08
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
火花是靶材溶融区由于温度，压力过高喷溅出来的，可以考虑是靶材电流过大等原理

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aovix
2楼2018-04-19 06:19:04
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无名指mh

银虫 (正式写手)
也可能是靶材表面有金属小颗粒吧，是不是溅射进行一会儿就没有了，电流不稳有扰动

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aovix
虚心求学
3楼2018-04-19 11:30:57
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aovix

银虫 (初入文坛)
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引用回帖:
2楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-04-19 06:19:04
火花是靶材溶融区由于温度，压力过高喷溅出来的，可以考虑是靶材电流过大等原理

请问大神，温度大概在250-300，电流在80，不知道是不是高了

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4楼2018-04-20 17:29:33
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aovix

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 无名指mh at 2018-04-19 11:30:57
也可能是靶材表面有金属小颗粒吧，是不是溅射进行一会儿就没有了，电流不稳有扰动

靶材表面溅射的不是很光滑，打磨平整做溅射的还是感觉凹凸不平，这是什么原因

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5楼2018-04-20 17:30:54
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
内容已删除
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6楼2018-04-21 05:57:55
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

锆靶材，溅射时候注意下电流、功率和温度
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7楼2018-04-26 13:36:37
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aovix

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by pvdmaterial at 2018-04-26 13:36:37
锆靶材，溅射时候注意下电流、功率和温度

不知道具体电流功率温度怎么设置

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8楼2018-04-27 19:20:17
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