| 查看: 4999 | 回复: 5 | |||
[求助]
用氢氧化钾刻蚀二氧化硅的氢氧化钾的浓度是多少？ 已有1人参与
|
| 用氢氧化钾刻蚀二氧化硅（大约300nm），氢氧化钾的浓度是多少？ |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有160人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
招生--河北大学26年秋季入学博士
已经有1人回复
2楼2018-04-16 19:26:53
3楼2018-04-16 19:26:59
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2018-04-19 17:43:55
淘气小孩1116
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 391.7
- 散金: 100
- 帖子: 135
- 在线: 214.4小时
- 虫号: 3654786
- 注册: 2015-01-20
- 性别: MM
- 专业: 无机材料化学
5楼2018-05-02 09:04:41
|
一般用氢氧化钾或者TMAH可是Si，可是速率根据硅的晶面不同而产生的各项异性刻蚀。一般用BOE溶液可是二氧化硅，boe一般的配比为HF：NH4F：H2O=30ml：60g：100ml（HF浓度为48%）， 刻蚀速率在100-200nm/min。但无论用那种溶液可是，每一种溶液对硅和二氧化硅都有选择比。这些都属于湿法刻蚀，也可以选择干法刻蚀。如rie，ICP 发自小木虫Android客户端 |
6楼2018-05-11 18:18:19
10