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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 聚焦离子束（FIB）
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罗尼27

新虫 (小有名气)

[求助] 聚焦离子束（FIB）已有2人参与

请问大神知不知道用Fib能不能渡一纳米厚的Pt,怎么渡？

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1楼2018-04-11 08:52:58
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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罗尼27: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-04-12 19:27:50
不太现实，你想这么做目的是啥
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2楼2018-04-11 14:17:57
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普通回帖

光刻电子

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2018-04-11 14:44:49
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于志强

金虫 (小有名气)
用离子溅射仪试一下

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不知道自己不知道，知道自己不知道，知道自己知道，不知道自己知道
4楼2018-04-11 19:01:06
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罗尼27

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-04-11 14:17:57
不太现实，你想这么做目的是啥

渡个长方形pt条尝试测下氢敏。非常感谢。。
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5楼2018-04-12 09:44:22
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罗尼27

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 光刻电子 at 2018-04-11 14:44:49
FEI公司倒是有用FIB进行修补的设备，不过用的材料是BrF3.
但是你要求的厚度是1nm, 我觉得有点难，均匀行没法保证。

嗯嗯，均匀性确实是个问题，感觉都渡不上，这个太难控制了！
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6楼2018-04-12 09:51:50
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罗尼27

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 于志强 at 2018-04-11 19:01:06
用离子溅射仪试一下

好的，我查一下，谢谢你！
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7楼2018-04-12 09:53:42
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
Ald可以试试能不能做，溅射一类的应该这么薄很难做成连续膜的

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8楼2018-04-12 10:23:00
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罗尼27

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-04-12 10:23:00
Ald可以试试能不能做，溅射一类的应该这么薄很难做成连续膜的

好的！！
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9楼2018-04-12 19:26:27
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CAB云水禅心

木虫 (著名写手)
可以镀

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10楼2018-05-11 22:14:55
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