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罗尼27
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聚焦离子束(FIB)
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请问大神知不知道用Fib能不能渡一纳米厚的Pt,怎么渡?
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1楼
2018-04-11 08:52:58
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2018-04-12 19:27:50
不太现实,你想这么做目的是啥
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2018-04-11 14:17:57
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2018-04-11 14:44:49
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用离子溅射仪试一下
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不知道自己不知道,知道自己不知道,知道自己知道,不知道自己知道
4楼
2018-04-11 19:01:06
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:
Originally posted by
gxytju2008
at 2018-04-11 14:17:57
不太现实,你想这么做目的是啥
渡个长方形pt条尝试测下氢敏。非常感谢。。
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5楼
2018-04-12 09:44:22
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光刻电子
at 2018-04-11 14:44:49
FEI公司倒是有用FIB进行修补的设备,不过用的材料是BrF3.
但是你要求的厚度是1nm, 我觉得有点难,均匀行没法保证。
嗯嗯,均匀性确实是个问题,感觉都渡不上,这个太难控制了!
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6楼
2018-04-12 09:51:50
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于志强
at 2018-04-11 19:01:06
用离子溅射仪试一下
好的,我查一下,谢谢你!
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7楼
2018-04-12 09:53:42
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Ald可以试试能不能做,溅射一类的应该这么薄很难做成连续膜的
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8楼
2018-04-12 10:23:00
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:
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gxytju2008
at 2018-04-12 10:23:00
Ald可以试试能不能做,溅射一类的应该这么薄很难做成连续膜的
好的!!
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9楼
2018-04-12 19:26:27
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