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[交流]
求腐蚀InGaN的溶液
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| 我的片子是这样的结构:蓝宝石上有外延生长的GaN层,GaN上生长一层有InGaN,现在想在GaN上做接触电极,就要把InGaN腐蚀掉一部分,文献中所说的干法刻蚀我们没有那样的设备,据说有氮的物质和没有氮元素的物质刻蚀方法不一样,本想找到一种福是电解液来腐蚀InGaN,保护GaN,看了器件方面的文献,未找到,现在来小木虫里求助,希望知道的小伙伴分享一下,有么有这样的电解液 |
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2018-04-10 11:45
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