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马苗苗马苗苗

新虫 (小有名气)

[交流] 求腐蚀InGaN的溶液

我的片子是这样的结构：蓝宝石上有外延生长的GaN层，GaN上生长一层有InGaN，现在想在GaN上做接触电极，就要把InGaN腐蚀掉一部分，文献中所说的干法刻蚀我们没有那样的设备，据说有氮的物质和没有氮元素的物质刻蚀方法不一样，本想找到一种福是电解液来腐蚀InGaN，保护GaN，看了器件方面的文献，未找到，现在来小木虫里求助，希望知道的小伙伴分享一下，有么有这样的电解液
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1楼 2018-04-10 11:23:27
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shenrenren2楼
2018-04-10 11:45   回复  
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qinxiaofeng3楼
2018-04-10 12:26   回复  
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nono20094楼
2018-04-10 12:30   回复  
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雾霾天20135楼
2018-04-10 14:19   回复  
马苗苗马苗苗(金币+1): 谢谢参与
star_zhang6楼
2018-04-10 16:24   回复  
马苗苗马苗苗(金币+1): 谢谢参与
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