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[交流] 【讨论】如何阻止纳米粒子的团聚现象？

我用磁控溅射的方法制备纳米粒子，老是得到的样品分散性不好，请教各位怎么控制纳米粒子的团聚现象？它的团聚都和那些因素有关？

[ Last edited by wdwsnnu on 2009-3-18 at 20:31 ]

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1楼 2009-03-18 15:04:33

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winipo

木虫 (小有名气)

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引用回帖:

Originally posted by 碧海蓝天5087 at 2009-3-31 12:03:

谢谢高手指点啊，学习了！您说的也就是真空度越高分散性理论上应该越好吧？

是的。真空度越高越好。

你可以先用一块金属靶材进行实验，金属纳米粒子一般为分散的球形颗粒，调节合适的溅射气体气压，以及衬底和靶材的距离。这样，在合适的沉积时间内，应该要得到单分散的纳米粒子。
沉积时间也很重要，覆盖率高的情况下，颗粒仍然会有团聚的。

还不知道你的靶材是什么，如果靶材的成分或者结构不均匀，溅射也可能出现一团一团的东西。特别是粉末压制的靶材。这时候就要控制好溅射电压。

总之，与溅射有关的参数大概是这样：溅射电压，溅射气体流量，衬底位置，沉积时间。。。
与颗粒生长有关的参数：衬底温度，靶材成分，沉积速率，衬底结构。。。

暂时认为你先检查真空度，调节沉积时间，看看。