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llyj83

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】单分子薄膜的紫外刻蚀

单分子薄膜的紫外刻蚀需要怎么样的紫外灯,功率和波长多大比较合适? 先谢谢了。

[ Last edited by wdwsnnu on 2009-3-18 at 20:33 ]
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atlantic3982

金虫 (小有名气)


jackchen145(金币+1,VIP+0):http://emuch.net/bbs/forumdisplay.php?fid=5 4-30 10:47
jackchen145(金币+0,VIP+0):谢谢讨论,欢迎常来微纳版! 4-30 10:48
这个取决于膜的性质吧
包括成膜分子与基底的结合机制、刻蚀的反应原理等
你做的什么体系?可以交流一下哈
2楼2009-04-14 14:18:06
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quanbaogang

木虫 (正式写手)

国内还有多少单位在做这个课题呢?
3楼2009-04-30 08:48:12
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