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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】单分子薄膜的紫外刻蚀
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llyj83

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】单分子薄膜的紫外刻蚀

单分子薄膜的紫外刻蚀需要怎么样的紫外灯，功率和波长多大比较合适？ 先谢谢了。

[ Last edited by wdwsnnu on 2009-3-18 at 20:33 ]
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1楼 2009-03-18 10:27:45
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atlantic3982

金虫 (小有名气)
★
jackchen145(金币+1,VIP+0):http://emuch.net/bbs/forumdisplay.php?fid=5 4-30 10:47
jackchen145(金币+0,VIP+0):谢谢讨论，欢迎常来微纳版！ 4-30 10:48
这个取决于膜的性质吧
包括成膜分子与基底的结合机制、刻蚀的反应原理等
你做的什么体系？可以交流一下哈
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2楼2009-04-14 14:18:06
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
国内还有多少单位在做这个课题呢？
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3楼2009-04-30 08:48:12
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