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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问国内有哪些单位能外协提供ALD氧化铝加工。
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maytalk

新虫 (初入文坛)

[交流] 请问国内有哪些单位能外协提供ALD氧化铝加工。 已有6人参与

我们现在需要ALD做氧化铝的薄膜，用作电流限制层。可能在图形化和温度上边有要求。实验阶段可能需要较多次调整。
想请问有哪些单位可以提供，方便联系吗？
十分感谢~
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1楼 2018-03-29 15:14:01
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PaperMonster

铁杆木虫 (正式写手)
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原子层气相沉积做氧化铝薄膜？之前有听说山西煤化所有一个组专门做ALD沉积，具体名字忘了

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2楼2018-03-29 15:43:26
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maytalk

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by PaperMonster at 2018-03-29 15:43:26
原子层气相沉积做氧化铝薄膜？之前有听说山西煤化所有一个组专门做ALD沉积，具体名字忘了

嗯。。好像听说过是覃勇教授的组。。但是没找到确切的咨询地址。。

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3楼2018-03-29 16:02:50
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PaperMonster

铁杆木虫 (正式写手)
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3楼: Originally posted by maytalk at 2018-03-29 16:02:50
嗯。。好像听说过是覃勇教授的组。。但是没找到确切的咨询地址。。
...

是的。去他们所的网站查，或者找篇他的文章，上面就有邮箱

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4楼2018-03-29 20:19:07
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光棍9527

新虫 (小有名气)
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我公司江苏迈纳德微纳技术有限公司专业从事于ALD设备及ALD薄膜工艺研发，欢迎洽谈，13063658150

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5楼2018-03-29 22:01:09
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maytalk

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by PaperMonster at 2018-03-29 20:19:07
是的。去他们所的网站查，或者找篇他的文章，上面就有邮箱
...

好的～谢谢～

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6楼2018-03-30 06:48:25
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能华

新虫 (正式写手)
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我司有ALD设备可以做，氧化铝，氧化硅。我们是芯片制造厂。需要可私信

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7楼2018-03-30 07:08:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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北京的话，中科院是个研究所就能做吧。比如国家纳米中心或者微电子做。
华东的话，苏州纳米所
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8楼2018-04-03 14:28:57
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liuwen3227611

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
中科大微纳研究与制造中心可以，发个邮件联系nrfc@ustc.edu.cn
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9楼2018-04-08 15:12:40
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微纳之家

禁虫 (初入文坛)
★
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本帖内容被屏蔽
10楼2018-04-08 17:00:38
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