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请问一下，什么膜能够经受住plasma清洗（Ar+H2）的。
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请问一下市场上什么膜能够经受住Plasma清洗的，硅胶膜是能和plasma里面的氢气发生反应吗？acrylic膜能抗plasma清洗吗？ 谢谢！ |
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