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请问一下,什么膜能够经受住plasma清洗(Ar+H2)的。
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请问一下市场上什么膜能够经受住Plasma清洗的,硅胶膜是能和plasma里面的氢气发生反应吗?acrylic膜能抗plasma清洗吗? 谢谢! |
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pyqv1812楼
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M塞北7楼
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