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天行健08

铜虫 (小有名气)

[交流] PZT的基片制备

大家好，用磁控溅射在硅片上镀用来生长PZT的下电极基片，看资料查到有Pt/Ti/SiO2/Si或Pt/TiO2/SiO2/Si。有些问题向大家请教一下。
1. 这两种有优劣之分吗？或者是不同的应用方向？
2. 这两种是现在最好的常用PZT基片？
2. 这几层膜有替代的膜吗？
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1楼 2018-03-21 16:16:14
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wiseroy

木虫 (著名写手)
都可以用。影响不大。

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12楼2018-03-21 18:35:02
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nono20092楼
2018-03-21 16:27   回复  
天行健08(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
hongyingwu3楼
2018-03-21 16:41   回复  
天行健08(金币+1): 谢谢参与
taxhyhw624楼
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qnrtmbj345楼
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rtqcyrp196楼
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z071284467楼
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hujmq078楼
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BiotageAB9楼
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m2444155310楼
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e1578645011楼
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