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[交流]
PZT的基片制备
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大家好，用磁控溅射在硅片上镀用来生长PZT的下电极基片，看资料查到有Pt/Ti/SiO2/Si或Pt/TiO2/SiO2/Si。有些问题向大家请教一下。 1. 这两种有优劣之分吗？或者是不同的应用方向？ 2. 这两种是现在最好的常用PZT基片？ 2. 这几层膜有替代的膜吗？  |
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12楼2018-03-21 18:35:02
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nono20092楼
2018-03-21 16:27
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2018-03-21 16:41
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hujmq078楼
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