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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 交叉学科 » 准分子激光器
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vigoroc

铜虫 (正式写手)

[交流] 准分子激光器 已有1人参与

请教下谁有准分子激光器193nm换157nm经验？为什么换气后不出光了，求帮忙

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繁星纵变智慧永恒
1楼 2018-03-16 13:07:44
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probecn

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腔镜换了吗？能量计的分光片换了吗？ 157nm气体的配比对吗？普通的193nm的准分子激光器不建议你换成157nm。
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vigoroc
2楼2018-07-04 17:29:40
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vigoroc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by probecn at 2018-07-04 17:29:40
腔镜换了吗？能量计的分光片换了吗？ 157nm气体的配比对吗？普通的193nm的准分子激光器不建议你换成157nm。

谢谢已经解决了 不过换回193发现能量掉很多

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繁星纵变智慧永恒
3楼2018-07-05 11:22:44
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