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靶材无法起辉常见原因分析
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无法起辉的原因有很多，常见主要原因有： 1. 靶材安装准确否? 2. 靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可 3. 起辉电源是否正常------------检查靶电源 4. 靶与地线之间短路 ----------关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下； ----------压条过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。 5. 永磁靶表面场强是否下降太多？ ---------如果下降太多，需要更换磁钢。 6. 起辉溅射真空度与前次的差别？ ---------更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。 7、换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉 |
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